压电式压力传感器
它的敏感元件是用压电材料制作而成的。压电传感器的主要工作原理是压电效应,那么何为压电效应呢?压电效应分为正压电效应和逆压电效应。正压电效应解释为:某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时,内部会产生极化现象,与此同时会在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后,它又会重新恢复到不带电的状态。逆压电效应解释为:当作用力的方向改变时电荷的极性也会随之改变。而当在电介质的极化方向上施加电场,这些电介质也会发生变形,电场去掉后电介质的变形随之消失。
压电压力传感器就是当压电材料受到外力作用时表面形成电荷,电荷通过电荷放大器、测量电路的放大以及变换阻抗之后,会转换为与受外力呈现正比关系的电量输出。从中可以知道必须外力作用下,压电压力传感器才能工作,所以它也只能应用在动态测量中。
主要性能参数
额定压力范围即额定压力范围是满足标准规定值的压力范围,就是在最高和最低温度区间,传感器输出符合工作规定特性的压力范围。在实际使用过程中传感器所测压力也应该在这个范围之内。
最大压力范围即最大压力范围是指传感器能长时间承受的最大压力且不引起输出特性永久性改变。特别是以半导体压力传感器为代表的压力传感器,一般为了提高线性和温度特性,都会大幅度减小额定压力范围。因此即使在额定压力以上连续使用也不会轻易被损坏。一般最大压力是额定压力最高值的2到3倍。
损坏压力。损坏压力是指能够加工在传感器上且不使传感器元件或传感器外壳损坏的最大压力。
线性度即线性度是指在工作压力范围内,传感器的输出和压力之间直线关系的最大偏离。
压力迟滞即为在室温下及工作压力范围内,从最大工作压力和最小工作压力趋近某一压力时,传感器输出之差。
温度范围即压力传感器的温度范围分为补偿温度范围和工作温度范围。补偿温度范围是由于施加了温度补偿,精度进入额定范围内的温度范围工作温度范围是保证压力传感器能正常工作的温度范围。
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